膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进
文献类型：期刊论文
| 作者 | 尚红波 ; 刘春来; 张巍; 陈华男
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-01-10 |
| 期号 | 01页码:346-353 |
| 关键词 | 光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 |
| 中文摘要 | 为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm和3.76 nm改善为1.08 nm和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm密集线条对比度从0.082提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54022]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尚红波,刘春来,张巍,等. 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进[J]. 光学学报,2015(01):346-353. |
| APA | 尚红波,刘春来,张巍,&陈华男.(2015).膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进.光学学报(01),346-353. |
| MLA | 尚红波,et al."膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进".光学学报 .01(2015):346-353. |
入库方式： OAI收割
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