倾斜计算全息板标定补偿器误差
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱德燕; 李明 ; 薛栋林; 张学军
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-04-10 |
| 期号 | 04页码:170-176 |
| 关键词 | 测量 计算全息法 补偿器 离轴非球面 光学检测 精度分析 |
| 中文摘要 | 为了标定利用补偿器检测非球面的精度,提出采用倾斜计算全息法(CGH)校验补偿器,并将补偿器精度提高。介绍补偿器检测离轴非球面基本原理,同时结合工程实例,设计补偿器检测860 mm×600 mm的离轴高次非球面,通过加工与装配,仿真分析出装配后的补偿器精度为2.91 nm[均方根(RMS)值]。设计了利用倾斜式的计算全息板检测该补偿器的实验,并分析出利用该CGH校验补偿器的精度为1.79 nm(RMS值)。结果表明,受限于补偿器光学元件加工和组装精度,其检测精度未知,通过对补偿器误差进行检测与标定,可以确定利用该补偿器检测非球面的可行性并将其精度提高。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54047]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱德燕,李明,薛栋林,等. 倾斜计算全息板标定补偿器误差[J]. 光学学报,2015(04):170-176. |
| APA | 朱德燕,李明,薛栋林,&张学军.(2015).倾斜计算全息板标定补偿器误差.光学学报(04),170-176. |
| MLA | 朱德燕,et al."倾斜计算全息板标定补偿器误差".光学学报 .04(2015):170-176. |
入库方式： OAI收割
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