扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜珊; 巴音贺希格; 潘明忠; 李文昊; 宋莹 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-07-10 |
| 期号 | 07页码:55-64 |
| 关键词 | 光栅 扫描干涉场曝光系统 干涉条纹周期测量 相位锁定 |
| 中文摘要 | 扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,为精确测量干涉条纹周期,根据扫描干涉场曝光系统的特点提出了分束棱镜移动测量干涉条纹周期的方法,根据高斯光束传播理论,分析了该方法的理论误差;提出了周期计数法对周期测量数据进行计算。为降低对系统二维工作台运行及稳定精度的要求,提出了小行程高精度位移台辅助测量周期的方法,并进行了相关实验验证。结果表明:小行程位移台辅助周期测量方法在原理上可行,对于干涉条纹线密度1800 line/mm的系统参数,小行程位移台辅助周期测量的重复性可达到1.08×10-5(σ值),曝光实验的实测值与理论模型之间一致性较好,验证了该周期测量方法的可行性。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54063]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜珊,巴音贺希格,潘明忠,等. 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法[J]. 光学学报,2015(07):55-64. |
| APA | 姜珊,巴音贺希格,潘明忠,李文昊,&宋莹.(2015).扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法.光学学报(07),55-64. |
| MLA | 姜珊,et al."扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法".光学学报 .07(2015):55-64. |
入库方式： OAI收割
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