声光调Q CO_2激光器的实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何洋 ; 陆君; 陈飞; 李殿军; 郑长彬; 谢冀江; 郭劲
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2015-08-25 |
| 期号 | 08页码:2280-2285 |
| 关键词 | CO2激光器 声光调Q 重复频率 稳定性 |
| 中文摘要 | 为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 k Hz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 k Hz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6μrad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54066]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何洋,陆君,陈飞,等. 声光调Q CO_2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程,2015(08):2280-2285. |
| APA | 何洋.,陆君.,陈飞.,李殿军.,郑长彬.,...&郭劲.(2015).声光调Q CO_2激光器的实验研究.红外与激光工程(08),2280-2285. |
| MLA | 何洋,et al."声光调Q CO_2激光器的实验研究".红外与激光工程 .08(2015):2280-2285. |
入库方式： OAI收割
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