条纹反射法检测光学反射镜面形
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁婷; 张峰 ; 陶小平; 周润; 付锦江
|
| 刊名 | 光子学报
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 期号 | 09页码:92-97 |
| 关键词 | 条纹反射 光学检测 光线追迹 误差分析 |
| 中文摘要 | 针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检测光学反射镜.研究分析了条纹反射检测系统的原理及系统误差,运用光线追迹软件对条纹反射检测100mm口径反射镜面形进行建模仿真,并对已经加工完成的100mm口径旋转对称球面反射镜进行了检测,测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为0.523μm和0.086μm,满足该过渡阶段的检测需求. |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54108]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁婷,张峰,陶小平,等. 条纹反射法检测光学反射镜面形[J]. 光子学报,2015(09):92-97. |
| APA | 袁婷,张峰,陶小平,周润,&付锦江.(2015).条纹反射法检测光学反射镜面形.光子学报(09),92-97. |
| MLA | 袁婷,et al."条纹反射法检测光学反射镜面形".光子学报 .09(2015):92-97. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。