应用五轴离子束修正超高陡度镜面
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马占龙 ; 谷勇强; 彭利荣; 王高文
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-06-10 |
| 期号 | 06页码:241-248 |
| 关键词 | 光学制造 离子束 超高陡度 面形修正 |
| 中文摘要 | 为了验证离子束修正超高陡度镜面的能力,对采用五轴离子束加工超高陡度镜面的问题进行了分析研究和加工实验。根据现有检测条件制定了实验方案并对面形数据进行了处理;对超过机床五轴加工摆轴行程区域的驻留时间进行了补偿;建立了离子束五轴加工后置处理算法,根据该算法编制了数控程序生成软件,并通过实验验证了生成的数控程序的正确性;最后进行了超高陡度镜面的五轴离轴加工实验,经过5轮迭代加工后,元件面形由初始的峰谷(PV)值为57.983 nm、均方根(RMS)值为9.406 nm,收敛PV值为11.616 nm、RMS值为1.306 nm,总收敛比达到7.20。实验结果表明:采用五轴离子束加工超高陡度镜面的方案可行,并且获得了较高的收敛效率和加工精度,同时验证了离子束离轴镜加工的可行性。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54238]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马占龙,谷勇强,彭利荣,等. 应用五轴离子束修正超高陡度镜面[J]. 光学学报,2015(06):241-248. |
| APA | 马占龙,谷勇强,彭利荣,&王高文.(2015).应用五轴离子束修正超高陡度镜面.光学学报(06),241-248. |
| MLA | 马占龙,et al."应用五轴离子束修正超高陡度镜面".光学学报 .06(2015):241-248. |
入库方式： OAI收割
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