用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高松涛 ; 武东城; 彭石军; 苏东奇; 苗二龙
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-11-10 |
| 期号 | 11页码:126-131 |
| 关键词 | 全息 计算全息图(CGH) 非球面检测 自补偿效应 |
| 中文摘要 | 用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH和辅助调节CGH之间具有相互补偿效应。针对一高次非球面,设计了四种不同的CGH配置方案,而后逐一分析了零位补偿CGH和辅助调节CGH之间的补偿效应。分析结果表明,在相同的基板误差的条件下,具有自补偿效应的配置方案的Power项误差小于其他方案的1/40,而球差和高阶球差则小于其他方案的1/70。利用具有自补偿效应的配置方案加工制作了CGH,用此CGH完成了对非球面的加工检测迭代,非球面面形的收敛精度均方根(RMS)达到0.48 nm。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54244]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高松涛,武东城,彭石军,等. 用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析[J]. 光学学报,2015(11):126-131. |
| APA | 高松涛,武东城,彭石军,苏东奇,&苗二龙.(2015).用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析.光学学报(11),126-131. |
| MLA | 高松涛,et al."用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析".光学学报 .11(2015):126-131. |
入库方式： OAI收割
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