长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 硅酸盐通报
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| 出版日期 | 2015-12-15 |
| 期号 | 12页码:3556 |
| 关键词 | 高精度控制 应用光学 光机所 遗传算法 控制精度 面形误差 国家重点实验室 分布控制 磁控溅射 投影物镜 |
| 中文摘要 | <正>近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展:通过采用遗传算法,实现了Ф200 mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%,镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1 nm RMS,相关指标达到国 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54269]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展[J]. 硅酸盐通报,2015(12):3556. |
| APA | (2015).长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展.硅酸盐通报(12),3556. |
| MLA | "长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展".硅酸盐通报 .12(2015):3556. |
入库方式： OAI收割
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