正交柱面镜像散位移测量方法的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩庆; 王健 ; 李灿; 刘英; 孙强
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2015-07-10 |
| 期号 | 07页码:204-209 |
| 关键词 | 测量 正交柱面镜 像散原理 矩阵光学 |
| 中文摘要 | 为了实现物体位移测量的高精度,无损伤和简单化,对柱面镜像散效应进行了研究,利用正交柱面镜像散效应实现物体的位移测量。根据高斯光线追迹的矩阵方法,建立正交柱面镜的矩阵光线传播模型,并利用Zemax进行仿真验证;给出了正交柱面镜像散位移测量系统的矩阵传播模型,并具体分析了系统的量程和分辨率;进行实验验证,在5.6 mm量程范围内,实现了精度为200 nm的移位测量。该方法为位移测量提供了一种新的非接触、高精度的光学测量方式。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54282]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩庆,王健,李灿,等. 正交柱面镜像散位移测量方法的研究[J]. 光学学报,2015(07):204-209. |
| APA | 韩庆,王健,李灿,刘英,&孙强.(2015).正交柱面镜像散位移测量方法的研究.光学学报(07),204-209. |
| MLA | 韩庆,et al."正交柱面镜像散位移测量方法的研究".光学学报 .07(2015):204-209. |
入库方式： OAI收割
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