大口径凸非球面面形检测方法研究
文献类型:期刊论文
作者 | 宋强; 杨宝喜; 袁乔; 李璟; 朱菁; 黄惠杰 |
刊名 | 中国激光
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出版日期 | 2014 |
卷号 | 41期号:4页码:408003 |
关键词 | 测量 光学测量 光学制造 非球面 零位补偿 |
其他题名 | Study on Large Convex Aspherical Lens Testing |
中文摘要 | 提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Phi270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585lambda和0.083lambda。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。 |
英文摘要 | A surface measurement method of convex aspherical lens with large clear aperture is proposed based on an aspherical compensation mirror.It overcomes the difficulty that multiple lenses are needed for compensating the normal aberration of convex aspherical lens.In addition,it simplifies the design and reduces the cost.Aspherical lens measurement system with large diameter is designed and implemented.Source of error is systematically analyzed, and elimination method of error is also proposed.In order to verify the feasibility of the proposed method,a convex aspherical lens with an aperture of 270 mm is inspected.The peak valley(PV)value and root mean square(RMS)of the tested aspherical surface are 0.585lambdaand 0.083lambda,respectively.This method provides a technical reference for large aperture aspherical surface testing,and also can be used in the field of rough polishing testing. |
收录类别 | EI |
语种 | 中文 |
版本 | 出版稿 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/12482] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
作者单位 | 1.宋强, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中科院信息光学与光电技术实验室, 上海 201800, 中国. 2.杨宝喜, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中科院信息光学与光电技术实验室, 上海 201800, 中国. 3.袁乔, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中科院信息光学与光电技术实验室, 上海 201800, 中国. 4.李璟, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中科院信息光学与光电技术实验室, 上海 201800, 中国. 5.朱菁, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中科院信息光学与光电技术 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋强,杨宝喜,袁乔,等. 大口径凸非球面面形检测方法研究[J]. 中国激光,2014,41(4):408003. |
APA | 宋强,杨宝喜,袁乔,李璟,朱菁,&黄惠杰.(2014).大口径凸非球面面形检测方法研究.中国激光,41(4),408003. |
MLA | 宋强,et al."大口径凸非球面面形检测方法研究".中国激光 41.4(2014):408003. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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