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高低温热处理溶胶凝胶SiO_2减反膜稳定性研究

文献类型:会议论文

作者沈斌; 李海元; 熊怀; 张旭; 唐永兴
出版日期2014
中文摘要以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂通过溶胶凝胶法制备二氧化硅悬浮液,经粒径测试观察到溶胶体系平衡稳定,颗粒粒径在四个月的时间内基本保持在6.5nm左右。运用提拉法以一定的速度在石英玻璃基片上涂膜,分别进行200℃和800℃热处理,经过800℃热处理的膜层透过率曲线向短波方向移动,两者透过率峰值波长相差近210nm,但透过率峰值均超过99.8%,光学性能优异。在不同湿度环境下研究不同温度热处理的膜层稳定性,200℃热处理的膜层在不同湿度环境下透过率均大于99.9%,膜层峰值在高湿度环境中减小约150nm;800℃热处理的膜层在高湿度环境下透过率下降0.3%,膜层峰值在不同湿度中基本保持在600...
会议录第七届中国功能玻璃学术研讨会暨新型光电子材料国际论坛论文集
语种中文
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17185]  
专题上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室
作者单位上海光机所
推荐引用方式
GB/T 7714
沈斌,李海元,熊怀,等. 高低温热处理溶胶凝胶SiO_2减反膜稳定性研究[C]. 见:.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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