制备超薄多层膜的自动转速控厚法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 祝国龙; 冯仕猛; 邵建达; 汤兆胜; 易葵; 范正修 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 28期号:11页码:1027 |
| 中文摘要 | 在转速控厚法的基础上 ,排除了射频溅射的电磁干扰 ,实现了自动转速控厚法。用这种方法镀制超薄多层膜时 ,可以实时记录下镀制每层膜的沉积时间、自动切换转速、完成设定周期后自动停止转动。自动转速控厚法与转速控厚法相比 ,明显降低了多层膜制备的劳动强度 ,提高了多层膜制备的成品率和监控精度。而且将在镀制复杂膜系多层膜时 ,具有更加明显的优势 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 版本 | 出版稿 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17539]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 作者单位 | 1.祝国龙, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. 2.冯仕猛, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. 3.邵建达, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. 4.汤兆胜, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. 5.易葵, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. 6.范正修, 中科院上海光学精密机械所, 上海 201800, 中国. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 祝国龙,冯仕猛,邵建达,等. 制备超薄多层膜的自动转速控厚法[J]. 中国激光,2001,28(11):1027. |
| APA | 祝国龙,冯仕猛,邵建达,汤兆胜,易葵,&范正修.(2001).制备超薄多层膜的自动转速控厚法.中国激光,28(11),1027. |
| MLA | 祝国龙,et al."制备超薄多层膜的自动转速控厚法".中国激光 28.11(2001):1027. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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