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Co/Sb多层膜非单色反射率的计算

文献类型:期刊论文

作者冯仕猛; 赵海鹰; 邵建达; 范正修; 窦晓鸣
刊名科学通报
出版日期2003
卷号48期号:12页码:1264
中文摘要Co/Sb多层膜在光子能量为528 eV和掠入射为10.3degrees时有近62%理论反射率.推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法, 分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响.结果表明: Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性, 如果入射光能量分辨率小, 将导致测量反射率远小于理论反射率.只有在入射光能量分辨率达到1600以上, 测量反射率才等于多层膜实际反射率.给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值, 这与实验结果是吻合的.
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:1486935
版本出版稿
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/18316]  
专题上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
冯仕猛,赵海鹰,邵建达,等. Co/Sb多层膜非单色反射率的计算[J]. 科学通报,2003,48(12):1264.
APA 冯仕猛,赵海鹰,邵建达,范正修,&窦晓鸣.(2003).Co/Sb多层膜非单色反射率的计算.科学通报,48(12),1264.
MLA 冯仕猛,et al."Co/Sb多层膜非单色反射率的计算".科学通报 48.12(2003):1264.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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