Co/Sb多层膜非单色反射率的计算
文献类型:期刊论文
作者 | 冯仕猛; 赵海鹰; 邵建达; 范正修; 窦晓鸣 |
刊名 | 科学通报
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出版日期 | 2003 |
卷号 | 48期号:12页码:1264 |
中文摘要 | Co/Sb多层膜在光子能量为528 eV和掠入射为10.3degrees时有近62%理论反射率.推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法, 分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响.结果表明: Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性, 如果入射光能量分辨率小, 将导致测量反射率远小于理论反射率.只有在入射光能量分辨率达到1600以上, 测量反射率才等于多层膜实际反射率.给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值, 这与实验结果是吻合的. |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1486935 |
版本 | 出版稿 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/18316] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯仕猛,赵海鹰,邵建达,等. Co/Sb多层膜非单色反射率的计算[J]. 科学通报,2003,48(12):1264. |
APA | 冯仕猛,赵海鹰,邵建达,范正修,&窦晓鸣.(2003).Co/Sb多层膜非单色反射率的计算.科学通报,48(12),1264. |
MLA | 冯仕猛,et al."Co/Sb多层膜非单色反射率的计算".科学通报 48.12(2003):1264. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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