gamma-LiAlO_2晶体的生长缺陷研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨卫桥; 干福熹; 邓佩珍; 徐军; 李杼智; 蒋成勇 |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 31期号:6页码:565 |
| 其他题名 | Study on the Growth Defects of gamma-LiAlO_2 Crystal |
| 中文摘要 | gamma-LiAlO_2晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料，本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO_2晶体的缺陷。结果表明，提拉法生长的gamma-LiAlO_2晶体中的缺陷主要为位错、包裹物和亚晶界。并发现在其（100）晶片上的腐蚀形貌两面有较大差异。 |
| 英文摘要 | gamma-LiAlO_2 single crystal is an important kind of Substrate of GaN. The growth defects of gamma-LiAlO_2 were studied by means of optical micrography and synchrotron radiation topography. The result showed that the main kind of defects in gamma-LiAlO_2 crystal are dislocations, inclusions and sub-grain boundary. It was also found that the optical micrography of the two surfaces of gamma-LiAlO_2 (100) plate different from each other distinctly after chemical etch. |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 版本 | 出版稿 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17798]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 作者单位 | 1.杨卫桥, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 2.干福熹, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 3.邓佩珍, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 4.徐军, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 5.李杼智, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 6.蒋成勇, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨卫桥,干福熹,邓佩珍,等. gamma-LiAlO_2晶体的生长缺陷研究[J]. 人工晶体学报,2002,31(6):565. |
| APA | 杨卫桥,干福熹,邓佩珍,徐军,李杼智,&蒋成勇.(2002).gamma-LiAlO_2晶体的生长缺陷研究.人工晶体学报,31(6),565. |
| MLA | 杨卫桥,et al."gamma-LiAlO_2晶体的生长缺陷研究".人工晶体学报 31.6(2002):565. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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