分子泵机组控制系统的设计
文献类型:期刊论文
作者 | 吕凤年; 张臻; 尹宪华 |
刊名 | 数字技术与应用
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出版日期 | 2013 |
期号 | 3页码:11 |
中文摘要 | 在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析,设计了一套控制方案,很好地满足了空间滤波器特定的使用要求。 |
语种 | 中文 |
版本 | 出版稿 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14593] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_其他 |
作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕凤年,张臻,尹宪华. 分子泵机组控制系统的设计[J]. 数字技术与应用,2013(3):11. |
APA | 吕凤年,张臻,&尹宪华.(2013).分子泵机组控制系统的设计.数字技术与应用(3),11. |
MLA | 吕凤年,et al."分子泵机组控制系统的设计".数字技术与应用 .3(2013):11. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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