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分子泵机组控制系统的设计

文献类型:期刊论文

作者吕凤年; 张臻; 尹宪华
刊名数字技术与应用
出版日期2013
期号3页码:11
中文摘要在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析,设计了一套控制方案,很好地满足了空间滤波器特定的使用要求。
语种中文
版本出版稿
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14593]  
专题上海光学精密机械研究所_其他
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吕凤年,张臻,尹宪华. 分子泵机组控制系统的设计[J]. 数字技术与应用,2013(3):11.
APA 吕凤年,张臻,&尹宪华.(2013).分子泵机组控制系统的设计.数字技术与应用(3),11.
MLA 吕凤年,et al."分子泵机组控制系统的设计".数字技术与应用 .3(2013):11.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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