原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蒋诗平; 张玉烜; 高鸿奕; 陈建文; 张新夷; 徐至展 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 22期号:1页码:118 |
| 其他题名 | Soft X-Ray Contact Microscopy by an Atomic Force Microscope |
| 中文摘要 | 论述了在接触显微成像技术中，后续放大设备对分辨率的影响，并用实验方法比较了采用光学显微镜和原子力显微镜阅读并放大显微图的结果，表明采用原子力显微镜放大显微图是一种较为理想的方法。 |
| 英文摘要 | The instruments for reading relief in the photoresist related with the resolutions of soft X-ray contact microimaging are described. Comparing the micrographs made by an atomic force microscope with that by optical microscopes experimentally, the conclusion can be drawn that the atomic force microscope is a very good method for amplifying the images in the resists. |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 版本 | 出版稿 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17837]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 作者单位 | 1.蒋诗平, 中国科学技术大学, 国家同步辐射实验室, 合肥, 安徽 230029, 中国. 2.张新夷, 中国科学技术大学, 国家同步辐射实验室, 合肥, 安徽 230029, 中国. 3.张玉烜, 复旦大学物理系, 上海 200433, 中国. 4.高鸿奕, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 5.陈建文, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 6.徐至展, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋诗平,张玉烜,高鸿奕,等. 原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究[J]. 光学学报,2002,22(1):118. |
| APA | 蒋诗平,张玉烜,高鸿奕,陈建文,张新夷,&徐至展.(2002).原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究.光学学报,22(1),118. |
| MLA | 蒋诗平,et al."原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究".光学学报 22.1(2002):118. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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