光学薄膜的积分散射及测试技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 侯海虹 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 导师 | 邵建达 |
| 关键词 | 光学薄膜 表面散射 总积分散射仪 散射模型 |
| 中文摘要 | 测量光学元件的表面散射对研究光学元件的散射损耗和获取表面微观几何形状的信息具有重要意义。总积分散射为非接触式的散射测量技术，不会损伤样品表面，具有仪器结构简单、易于测量、测量精度高、不易受环境因素影响等优点。另一方面，理论上对散射模型的研究是探索光学薄膜表面散射物理本质的主要途径之一。建立了总积分散射测量系统。本仪器具有良好的抗干扰能力和重复性，测量灵敏度可达10-4量级，相对稳定度为8.4×10-2，测量简便省时，通常一个样品片的测试时间在3分钟之内。与光学轮廓仪、原子力显微镜以及分光光度仪测量结果的对比均表明其为测量光学表面粗糙度和总积分散射的可靠仪器。提出了分层界面散射模型。利用矩阵法推导得到了具有粗糙界面的光学薄膜表面在不同波长下的总积分散射矩阵表达式。通过实验对分层界面散射模型进行了实验验证，结果表明此模型能较准确地预测样品的表面散射特性。利用总积分散射测量实现了对K9玻璃表面散射和体散射的独立测量。利用总积分散射测量方法对超声波和离子源清洗过的K9玻璃基片和熔石英基片的表面特性进行了研究，同时还对不同方法制备的各种光学薄膜的表面均方根粗糙度和总积分散射进行了研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/15504]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯海虹. 光学薄膜的积分散射及测试技术研究[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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