Mirau型表面粗糙度检测系统的研制和超高光学分辨术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 丁志华 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 1996 |
| 授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 导师 | 王之江 |
| 关键词 | 表面粗糙度 位相检测 光学超分辨 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/15539]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁志华. Mirau型表面粗糙度检测系统的研制和超高光学分辨术研究[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 1996. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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