电子束蒸发自动控制系统的实验研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王宁 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 导师 | 邵建达 ; 易葵 |
| 关键词 | 光学薄膜、电子束蒸发自动控制、自动扫描、沉积速率控制 |
| 其他题名 | Experimental study of auto-control system of e-beam evaporation |
| 中文摘要 | 随着激光、通讯等技术的发展，高功率激光和光通信等高精密的光学系统对光学薄膜的光学、机械性能要求越来越高，从而对光学薄膜的制备提出了更高的要求。电子束热蒸发由于其经济性和通用性在光学薄膜的生产中得到了普遍的应用，是目前用于制备光学薄膜的最主要方法之一。为了得到高性能的光学薄膜，需要保证电子束蒸发过程的稳定性。对蒸发过程进行有效的自动控制，是提高光学薄膜质量的有效方法之一。 |
| 英文摘要 | With the development of laser and communication technologies, systems, such 'as high-power lasers and optical communication ystems, higher optical and mechanical properties of optical thin-film, and then make optical require higher requests. to preparation of thin-film. Because of its economical efficiency and practicability, e-beam evaporation is commonly used in preparation of thin-film, and is one of the most important methods of preparation of thin-film. For the purpose of producing thin-film of high performance, it is deeded to keep the evaporation process of e-beam. Effective control during effective methods of improving quality of thin-f lm. ration is stability of one of the effective methods of improving quality of thin-film. |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/15790]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宁. 电子束蒸发自动控制系统的实验研究[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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