基于低速CCD高速图像传感的SPM干涉测量技术的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 何国田 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 导师 | 王向朝 |
| 关键词 | 正弦相位调制，高速图像传感，表面形貌测量，振动测量 |
| 其他题名 | Study on sinusoidal phase-modulating interferometric measurement techniques with high-speed image sensor based on low speed CCD |
| 中文摘要 | 正弦相位调制(Sinusoidal Phase Modulation, SPM)干涉测量技术是目前国际前沿的高精度光学测量技术，具有灵敏度高、精度高、非接触及结构简单等特点，可以用于振动位移、静态位移、角位移、表面形貌等参数的高精度精密测量，在微电子机械系统、生物传感、自动控制、环境检测等领域有着广泛的应用前景。本论文提出了基于低速CCD的高速图像传感技术，并将其与SPM干涉测量技术相结合，在高速图像传感、实时振动与振动分布测量、实时表面形貌测量、干涉仪的标定以及SPM干涉技术中的频谱泄漏等方面开展研究. |
| 英文摘要 | Sinusoidal phase-modulating (SPM) interferometry has the advantages of high accuracy, no-contact measurment and compact structures. It has been applied widely in precise measurements of vibration, distance, angular displacement and surface profile. It has a bright prospect in microelectromechanical system, biosensor, automatic control and environmental monitoring, etc. In this dissertation, a high-frame-speed image sensing technique based on low speed CCD is proposed. And SPM interferometry based on the image sensor is studied, which is used in realtime vibration measurement and realtime surface profile measurement. |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/15812]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何国田. 基于低速CCD高速图像传感的SPM干涉测量技术的研究[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 2007. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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