宽带减反射周期微结构的光学特性及其飞秒激光损伤
文献类型:学位论文
作者 | 井绪峰 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2011 |
授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
导师 | 邵建达 ; 贺洪波 |
关键词 | 宽带减反射周期微结构、透射特性、光学薄膜、飞秒激光损伤 |
其他题名 | Optical property and femtosecond induced damage characteristic of the broadband antireflective surface microstructure |
中文摘要 | 宽带减反射周期微结构是一种具有亚波长尺寸、在入射介质到基底介质之间形成等效折射率渐变效果的衍射光学元件,只有零级光传播,并且具有宽光谱宽角谱的增透特性。如果此类表面微结构直接刻蚀到透明基底介质上,能够具有一较强的抗激光损伤能力。本文系统地研究了宽带减反射三角形周期微结构的光学透射特性及其飞秒激光损伤闽值。基于傅里叶模式理论,准确地分析了宽带微结构的宽光谱宽角谱的透射特性。为一了能够更加快速简单地计算其光学特性,我们通过标量衍射理论和等效介质理论计算的透射率分别与矢量方法的计算结果进行比较,得到了标量方法和等效折射率方法这两种简单近似方法在计算宽带减反射周期微结构光学特性的准确性。对于在透明基底熔石英上直接刻蚀的宽带减反射三角形周期微结构,当表面结构的周期尺寸大约大于五倍的入射波长时,标量衍射理论就能够准确地分析其透射特性,当微结构衍射光学元件中传播级次只有零级时,可以应用等效介质理论在l%的误差范围内计算其光学特性。 |
英文摘要 | The broadband antireflective microstructure possesses the subwavelength dimension and the gradual change of the effective refractive index between incident medium and substrate medium. This microstructure has the nature of antireflective properties at wide optical and using-angle spectrum, and of only zero diffraction light. If this kind of surface microstructure is directly patterned into a transparent substrate material, it can have a strong ability ofthe resistance of high power laser damage. |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/15820] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 井绪峰. 宽带减反射周期微结构的光学特性及其飞秒激光损伤[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 2011. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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