镀膜前玻璃基底的清洗技术
文献类型：学位论文
| 作者 | 王成仁 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 导师 | 贺洪波 |
| 关键词 | 光学薄膜 超声清洗 手工擦洗 玻璃基底 激光损伤阈值 洁净度 |
| 中文摘要 | 第一章论文综述部分分析了开展基底清洗技术研究的重要意义，介绍了目前主要的基底清洗技术。并详细叙述了实验中所采用的超声清洗技术的原理和影响清洗效果的主要因素。 第二章简要讨论了实验中采用的具体实验装置、各种实验参数的设置和超声清洗液的选取；介绍了实验中采用的各种表面测试技术和光学薄膜激光损伤阈值的测试方法。 作为对实验上的改进，第三章详细叙述了所设计的超声清洗夹具以及建立的手工擦洗规范。详细叙述了设计的背景、实现方法、使用方法和设计的优点；针对目前普通手工擦洗操作缺乏规范性，本文建立起一套手工擦洗规范，对手工擦洗各个环节需要注意的问题做了详细规定。 论文第四章重点开展了超声清洗工艺研究。根据基片表面的污染物种类及其化学性质，制定了不同的超声清洗工艺，并从不同的评价角度对清洗效果进行测试，通过对实验结果的分析讨论，肯定了超声清洗工艺的可取性和在降低玻璃表面水接触角与表面吸收损耗方面相对于手工擦洗的优势，并初步研究了超声清洗对光学薄膜激光损伤阈值的影响。根据实验的结论，总结了目前进行基底清洗的最佳工艺。 第五章最后总结了论文主要的实验结论及创新点，并对基底清洗技术今后的工作提出了建议。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/16482]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成仁. 镀膜前玻璃基底的清洗技术[D]. 中国科学院上海光学精密机械研究所. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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