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单斜相HfO_2薄膜弹性常数的第一性原理计算

文献类型：期刊论文

作者蔺玲; 邵淑英; 李静平
刊名光学学报
出版日期2013
卷号33期号:1页码:131001
其他题名First Principles Calculation of Elastic Constants of Monoclinic HfO_2 Thin Film
通讯作者蔺玲, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. ; 邵淑英, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国. ; 李静平, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国.
中文摘要用电子束蒸发沉积在K9玻璃基底上镀制HfO_2薄膜,沉积温度为200 ℃,蒸发速率为0.03 nm/s。由X射线衍射谱可知薄膜出现明显结晶,且为单斜相和正交相混合结构,其中单斜相占明显优势。用Jade5软件分析得到单斜相HfO_2的晶格常数a,b,c以及晶格矢量a和c之间的夹角beta。基于得到的晶格常数建立了单斜相HfO_2薄膜的晶体结构模型。同时建立固态单斜相HfO_2的晶体结构模型进行对比。通过密度泛函理论(DFT)框架下的平面超软赝势法,采用两种不同的交换关联函数:局域密度近似(LDA)中的CA-PZ和广义梯度近似(GGA)中的质子平衡方程(PBE),计算了薄膜态和固态单斜晶相HfO_2的弹性刚度系数矩阵C_(ij)和弹性柔度系数矩阵S_(ij),Reuss模型、Voigt模型和Hill理论下的体积模量和剪切模量,材料平均杨氏模量和泊松比。此外还计算得到薄膜态和固态单斜晶相HfO_2在不同方向上的杨氏模量。
英文摘要HfO_2 films are deposited by electron beam evaporation at a deposition rate of 0.03 nm/s and deposition temperature of 200 ℃ on K9 glass substrates. The films are observed to show a mixed structure of monoclinic and orthorhombic phase through X-ray diffraction and monoclinic phase is of obvious advantages. The structure parameters a, b, c and angel beta of monoclinic HfO_2 films are obtained using Jade5 software, based on which the crystal structure model is built. While solid crystal monoclinic HfO_2 model is built to compare with the thin film one. Elastic stiffness constants of monoclinic HfO_2 thin film and solid crystal are investigated using the plane waves ultrasoft pseudopotential technique based on the density functional theory (DFT) under two different exchange correlation functions of local density approximation (LDA) CA-PZ and generalized gradient approximation (GGA) PBE. Reuss, Voigt and Hill theories are used to estimate the bulk, shear and average Young′s moduli and Possion ratio for polycrystalline HfO_2 thin film and solid crystal. In addition, the Young′s moduli in different orientations are also calculated.
收录类别EI
语种中文
版本出版稿
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/14861]  
专题上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室
作者单位1.Lin Ling, Shanghai Institute of Optics and, Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China.
2.Shao Shuying, Shanghai Institute of Optics and, Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China.
3.Li Jingping, Shanghai Institute of Optics and, Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China.
推荐引用方式
GB/T 7714		 蔺玲,邵淑英,李静平. 单斜相HfO_2薄膜弹性常数的第一性原理计算[J]. 光学学报,2013,33(1):131001.
APA 蔺玲,邵淑英,&李静平.(2013).单斜相HfO_2薄膜弹性常数的第一性原理计算.光学学报,33(1),131001.
MLA 蔺玲,et al."单斜相HfO_2薄膜弹性常数的第一性原理计算".光学学报 33.1(2013):131001.

入库方式： OAI收割

来源：上海光学精密机械研究所

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