环形抛光中抛光胶盘面形在线监控技术研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 陈军; 徐学科; 魏朝阳; 杨明红; 顾建勋; 邵建达; 刘世杰 |
| 出版日期 | 2014 |
| 中文摘要 | 环形抛光技术是大口径光学元件加工的关键工艺。传统环形抛光技术是通过离线检测待加工件面形实现对抛光胶盘面形的判别。为解决环形抛光频繁离线检测带来的易引入疵病、加工效率低、加工时间不能确定等问题。分析了在线检测和离线检测的测量原理,提出了一种对抛光胶盘面形变化在线实时检测的方案,搭建了基于计算机、动态干涉仪、扩束系统和反射系统的在线实时检测系统。在同一工件环中利用陪抛片同步监测相当口径的试验片,得到陪抛片面形和试验片面形PV、POWER的变化趋势一致,即实现对待加工件面形的实时监控。这种方法具有结构简单,检测时间短和面形反应直观等优点,可以指导环形抛光,实现工 |
| 会议录 | 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17053]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海光学精密机械研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈军,徐学科,魏朝阳,等. 环形抛光中抛光胶盘面形在线监控技术研究[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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