氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序
文献类型:期刊论文
刊名 | 真空科学与技术学报
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出版日期 | 2005 |
卷号 | 25期号:z1页码:20-26 |
关键词 | 密封器件 检漏 氦质谱检漏仪 背压法 漏率计算 程序 |
中文摘要 | 本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲线拟合的方法给出了L极大值点的拟合公式; 介绍了GB/T 2423.23规定的查表法和诺模图计算法,指出了其表5中的个别数据错误,给出了不同有效容积V下去除压力后到检测漏率之间的停留时间t2对R的衰减因子曲线簇,提出据此灵活确定最大t2的优点; 介绍了GJB128A,GJB360A,GJB548A规定的固定法和灵活法,给出了与固定法所规定的R的拒收极限相对应的L和严酷等级,指出固定法不适合需要高气密等级的场合及不应混淆R与L的界线,给出了与灵活法所规定的L的拒收规范值相对应的严酷等级,指出对于不同V值严酷等级从几十到上千,显得很不规范; 介绍了R-L关系曲线法,该方法在V、加压压力PE、加压时间t1以及t2不变的情况下,预先给出R-L关系曲线,检漏操作人员可用此曲线由R反查出L; 提出由R求L完全可以由计算机采用优选法快速、可靠搜索出来. |
语种 | 中文 |
源URL | [http://202.127.2.71:8080/handle/181331/10810] ![]() |
专题 | 上海技术物理研究所_全文传递文献库_qwcd 期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序[J]. 真空科学与技术学报,2005,25(z1):20-26. |
APA | (2005).氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序.真空科学与技术学报,25(z1),20-26. |
MLA | "氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序".真空科学与技术学报 25.z1(2005):20-26. |
入库方式: OAI收割
来源:上海技术物理研究所
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