沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 于天燕 ; 秦杨 ; 刘定权 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2013-01-01 |
| 卷号 | 62期号:21 |
| 关键词 | 硫化锌薄膜 沉积温度 表面形貌 光学常数 |
| 中文摘要 | 对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究,结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响,不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向,牢固度也大不相同;不同沉积温度下,ZnS薄膜的光学常数也不尽相同.温度为115℃和155℃时,ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差,不适合空间用光学薄膜的研制使用.而190℃和230℃沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能,适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用. |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2014-11-05 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/7566]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于天燕,秦杨,刘定权. 沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究[J]. 物理学报,2013,62(21). |
| APA | 于天燕,秦杨,&刘定权.(2013).沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究.物理学报,62(21). |
| MLA | 于天燕,et al."沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究".物理学报 62.21(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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