不同退火条件对磁控溅射CdS薄膜性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张传军 ; 邬云骅 ; 曹鸿 ; 赵守仁 ; 王善力 ; 褚君浩 |
| 刊名 | 红外毫米波学报
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| 出版日期 | 2013-01-01 |
| 卷号 | 32期号:4 |
| 关键词 | CdS薄膜 磁控溅射 热退火 再结晶 带尾态 |
| 中文摘要 | 采用磁控溅射法,在衬底温度300℃制备CdS薄膜,并选取370℃、380℃、390℃三个温度退火,获得在干燥空气和CdCl2源+干燥空气两种气氛下退火的CdS薄膜.通过研究热处理前后CdS薄膜的形貌、结构和光学性能表明,CdS薄膜在干燥空气中退火,晶粒度、表面粗糙度和可见光透过率变化不明显,光学带隙随退火温度的升高而增大;在CdCl2源+干燥空气中退火,随退火温度的升高发生明显的再结晶和晶粒长大,表面粗糙度增大,可见光透过率和光学带隙随退火温度的升高而减小.分析得出:上述性能的改变是由于不同的退火条件对CdS薄膜的再结晶温度和带尾态掺杂浓度改变的结果. |
| 学科主题 | 红外基础研究 |
| 公开日期 | 2014-11-10 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/7698]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张传军,邬云骅,曹鸿,等. 不同退火条件对磁控溅射CdS薄膜性能的影响[J]. 红外毫米波学报,2013,32(4). |
| APA | 张传军,邬云骅,曹鸿,赵守仁,王善力,&褚君浩.(2013).不同退火条件对磁控溅射CdS薄膜性能的影响.红外毫米波学报,32(4). |
| MLA | 张传军,et al."不同退火条件对磁控溅射CdS薄膜性能的影响".红外毫米波学报 32.4(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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