高精度激光三角位移测量系统误差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何凯 ; 陈星 ; 王建新 ; 张勤耀 |
| 刊名 | 光学与光电技术
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| 出版日期 | 2013-06-10 |
| 卷号 | 11期号:3 |
| 关键词 | 激光三角法 光斑定位 二次法定标 光电探测器 非接触测量 |
| 中文摘要 | 激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用。针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案。经实验验证,该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-11-11 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/7770]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何凯,陈星,王建新,等. 高精度激光三角位移测量系统误差分析[J]. 光学与光电技术,2013,11(3). |
| APA | 何凯,陈星,王建新,&张勤耀.(2013).高精度激光三角位移测量系统误差分析.光学与光电技术,11(3). |
| MLA | 何凯,et al."高精度激光三角位移测量系统误差分析".光学与光电技术 11.3(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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