探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵成强 ; 徐文东 ; 洪小刚 ; 李小刚 ; 唐晓东 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 29期号:2页码:473-477 |
| 关键词 | 光刻 表面等离子体共振 原子力显微镜 探针 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 等离子物理学 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-04-20 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6371]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵成强,徐文东,洪小刚,等. 探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统[J]. 光学学报,2009,29(2):473-477. |
| APA | 赵成强,徐文东,洪小刚,李小刚,&唐晓东.(2009).探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统.光学学报,29(2),473-477. |
| MLA | 赵成强,et al."探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统".光学学报 29.2(2009):473-477. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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