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纳米结构的引导组装方法

文献类型:专利

作者季生象; 刘亚栋; 李晓; 保罗·富兰克林·内利
发表日期2014-11-10
专利国别中国
专利号CN201410636657.7
专利类型发明
中文摘要本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法,包括以下步骤:在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料,所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段;诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构,形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段,能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性,在图案周期比聚合物相分离周期大90%的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构,从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中,使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时,无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构,并且无缺陷。
语种中文
源URL[http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/78096]  
专题长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_专利
作者单位中国科学院长春应用化学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
季生象,刘亚栋,李晓,等. 纳米结构的引导组装方法. CN201410636657.7. 2014-11-10.

入库方式: OAI收割

来源:长春应用化学研究所

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