纳米结构的引导组装方法
文献类型:专利
作者 | 季生象; 刘亚栋; 李晓; 保罗·富兰克林·内利 |
发表日期 | 2014-11-10 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN201410636657.7 |
专利类型 | 发明 |
中文摘要 | 本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法,包括以下步骤:在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料,所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段;诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构,形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段,能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性,在图案周期比聚合物相分离周期大90%的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构,从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中,使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时,无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构,并且无缺陷。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/78096] ![]() |
专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_专利 |
作者单位 | 中国科学院长春应用化学研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 季生象,刘亚栋,李晓,等. 纳米结构的引导组装方法. CN201410636657.7. 2014-11-10. |
入库方式: OAI收割
来源:长春应用化学研究所
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