POTENTIAL OF THE FLASH FEL TECHNOLOGY FOR THE CONSTRUCTION OF A KW-SCALE LIGHT SOURCE FOR THE NEXT GENERATION LITHOGRAPHY
文献类型：会议论文
| 作者 | E.L. Saldin; E.A. Schneidmiller; V.F. Vogel; H. Weise; M.V. Yurkov |
| 出版日期 | 2009 |
| 会议名称 | Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK |
| 会议日期 | 2009 |
| 会议地点 | Liverpool |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/256220]  |
| 专题 | 高能物理研究所_学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_FEL |
| 作者单位 | DESY, Hamburg |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | E.L. Saldin,E.A. Schneidmiller,V.F. Vogel,et al. POTENTIAL OF THE FLASH FEL TECHNOLOGY FOR THE CONSTRUCTION OF A KW-SCALE LIGHT SOURCE FOR THE NEXT GENERATION LITHOGRAPHY[C]. 见:Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK. Liverpool. 2009. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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