Application of Hydrogen Ion Beams for SOI Wafer Formation
文献类型：会议论文
| 作者 | H.J. Woo; H.W. Choi; G.D. Kim; J.K. Kim; W. Hong; Y.Y. Ji KIGAM; W.B. Choi |
| 出版日期 | 2004 |
| 会议名称 | APAC 2004 Contributions to the Proceedings |
| 会议日期 | 2004 |
| 会议地点 | Korea |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/254953]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_APAC |
| 作者单位 | BNP Science |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | H.J. Woo,H.W. Choi,G.D. Kim,et al. Application of Hydrogen Ion Beams for SOI Wafer Formation [C]. 见:APAC 2004 Contributions to the Proceedings. Korea. 2004. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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