Design of High Current RF Ion Source for Micromachining Applications
文献类型：会议论文
| 作者 | P.Y.Nabhiraj; R.K.Bhandari; C.Mallik; R.Menon |
| 出版日期 | 2007 |
| 会议名称 | APAC 2007 Contributions to the Proceedings |
| 会议日期 | 2007 |
| 会议地点 | India |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/255047]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_APAC |
| 作者单位 | DAE/VECC, Calcutta |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | P.Y.Nabhiraj,R.K.Bhandari,C.Mallik,et al. Design of High Current RF Ion Source for Micromachining Applications[C]. 见:APAC 2007 Contributions to the Proceedings. India. 2007. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。