准分子激光光束均匀技术
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 叶震寰 ; 楼祺洪 ; 李红霞 ; 董景星 ; 魏运荣 |
| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 29期号:2页码:207 |
| 关键词 | 准分子激光 光束均匀 蝇眼 光刻 |
| ISSN号 | 1001-3806 |
| 其他题名 | Beam homogenizing technology for UV excimer laser |
| 中文摘要 | 由于放电结构及谐振腔的限制，准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理，从衡量光束均匀性的各项指标出发，评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。 |
| 分类号 | TN248.2 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2755]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶震寰,楼祺洪,李红霞,等. 准分子激光光束均匀技术, Beam homogenizing technology for UV excimer laser[J]. 激光技术,2005,29(2):207, 209,212. |
| APA | 叶震寰,楼祺洪,李红霞,董景星,&魏运荣.(2005).准分子激光光束均匀技术.激光技术,29(2),207. |
| MLA | 叶震寰,et al."准分子激光光束均匀技术".激光技术 29.2(2005):207. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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