Emerging Maskless Nanolithography Based on Novel Diffraction Gratings
文献类型：专著
| 作者 | Guanxiao Cheng; Yong Yang; Chao Hu; Ping Xu; Helun Song; Tingwen Xing; Max Q.-H. Meng |
| 出版日期 | 2011 |
| 出版者 | INTECH |
| 丛书名 | Recent Advances in Nanofabrication Techniques and Applications |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/3680]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_集成所 |
| 作者单位 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Guanxiao Cheng,Yong Yang,Chao Hu,et al. Emerging Maskless Nanolithography Based on Novel Diffraction Gratings[M]:INTECH,2011. |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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