一种SON型金属氧化物半导体场效应管器件的制备方法
文献类型:专利
作者 | 彭本贤 ; 俞挺 ; 于峰崎 |
发表日期 | 2007-04-30 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN200710074296.1 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 深圳先进技术研究院 |
公开日期 | 2010-02-03 |
授权日期 | 2010-02-03 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/43] |
专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭本贤,俞挺,于峰崎. 一种SON型金属氧化物半导体场效应管器件的制备方法. CN200710074296.1. 2007-04-30. |
入库方式: OAI收割
来源:深圳先进技术研究院
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