电容式超声传感器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 俞挺 ; 于峰崎 |
| 发表日期 | 2011-02-14 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2011100372015 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 公开日期 | 2012-06-06 |
| 授权日期 | 2012-06-06 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/204]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞挺,于峰崎. 电容式超声传感器及其制备方法. CN2011100372015 . 2011-02-14. |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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