薄膜太阳能电池退火装置
文献类型：专利
| 作者 | 刘壮 ; 肖旭东 ; 顾光一 ; 贺凡 ; 陈旺寿 |
| 发表日期 | 2012-12-26 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN201220741993.4 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 深圳先进技术研究院 ; 香港中文大学 |
| 公开日期 | 2013-06-19 |
| 授权日期 | 2013-06-19 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/341]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘壮,肖旭东,顾光一,等. 薄膜太阳能电池退火装置. CN201220741993.4. 2012-12-26. |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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