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薄膜太阳能电池退火装置

文献类型:专利

作者刘壮 ; 肖旭东 ; 顾光一 ; 贺凡 ; 陈旺寿
发表日期2012-12-26
专利国别中国
专利号CN201220741993.4
专利类型实用新型
权利人深圳先进技术研究院 ; 香港中文大学
公开日期2013-06-19
授权日期2013-06-19
源URL[http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/341]  
专题深圳先进技术研究院_先进院专利
推荐引用方式
GB/T 7714
刘壮,肖旭东,顾光一,等. 薄膜太阳能电池退火装置. CN201220741993.4. 2012-12-26.

入库方式: OAI收割

来源:深圳先进技术研究院

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