热蒸发镀膜设备的热蒸发源
文献类型：专利
| 作者 | 张撷秋 ; 肖旭东 ; 陈旺寿 ; 宋建军 ; 刘壮 ; 顾光一 ; 杨春雷 |
| 发表日期 | 2012-12-14 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 201210544335.0 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 深圳先进技术研究院 ; 香港中文大学 |
| 授权日期 | 2014-12-24 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/498]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张撷秋,肖旭东,陈旺寿,等. 热蒸发镀膜设备的热蒸发源. 201210544335.0. 2012-12-14. |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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