电容式超声传感器芯片及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 俞挺; 彭本贤; 于峰崎 |
| 发表日期 | 2012-04-28 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 201210132866.9 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 授权日期 | 2016-05-18 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/9370]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
| 作者单位 | 2012-04-28 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞挺,彭本贤,于峰崎. 电容式超声传感器芯片及其制作方法. 201210132866.9. 2012-04-28. |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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