一种绝对压力传感器芯片及其制作方法
文献类型:专利
作者 | 俞挺; 彭本贤; 于峰崎 |
发表日期 | 2012-10-23 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 201210428212.0 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 深圳先进技术研究院 |
授权日期 | 2016-11-30 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/9576] |
专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
作者单位 | 2012-10-23 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞挺,彭本贤,于峰崎. 一种绝对压力传感器芯片及其制作方法. 201210428212.0. 2012-10-23. |
入库方式: OAI收割
来源:深圳先进技术研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。