平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁志军 ; 楼祺洪 ; 周军 ; 董景星 ; 魏运荣 ; 王之江 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 36期号:1页码:205-209 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 光学 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-06 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6718]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁志军,楼祺洪,周军,等. 平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜[J]. 中国激光,2009,36(1):205-209. |
| APA | 袁志军,楼祺洪,周军,董景星,魏运荣,&王之江.(2009).平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜.中国激光,36(1),205-209. |
| MLA | 袁志军,et al."平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜".中国激光 36.1(2009):205-209. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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