一种用于磁控溅射的高低压转换装置
文献类型：专利
| 作者 | 夏原 ; 李光; 朱洪亚
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| 发表日期 | 2017-02-22 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL201410652562.4 |
| 专利类型 | 发明 |
| 中文摘要 | 本发明公开了一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出电极连接，从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较，此装置的电压转换更加安全可靠，能够实现高压绝缘和40‑50kV高压冲击特性的开关，而且设计有自动控制系统，并合并到磁控溅射总控制系统中 |
| 公开日期 | 2014-11-17 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/60007]  |
| 专题 | 力学研究所_先进制造工艺力学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏原,李光,朱洪亚. 一种用于磁控溅射的高低压转换装置. ZL201410652562.4. 2017-02-22. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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