Residual stress in AlN films grown on sapphire substrates by molecular beam epitaxy
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xin Rong ; Xinqiang Wang ; Guang Chen ; Jianhai Pan ; Ping Wang ; Huapeng Liu ; Fujun Xu ; Pingheng Tan ; Bo Shen |
| 刊名 | superlattices and microstructures
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| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 93页码:27-31 |
| 学科主题 | 半导体物理 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2017-03-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28030]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体超晶格国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xin Rong,Xinqiang Wang,Guang Chen,et al. Residual stress in AlN films grown on sapphire substrates by molecular beam epitaxy[J]. superlattices and microstructures,2016,93:27-31. |
| APA | Xin Rong.,Xinqiang Wang.,Guang Chen.,Jianhai Pan.,Ping Wang.,...&Bo Shen.(2016).Residual stress in AlN films grown on sapphire substrates by molecular beam epitaxy.superlattices and microstructures,93,27-31. |
| MLA | Xin Rong,et al."Residual stress in AlN films grown on sapphire substrates by molecular beam epitaxy".superlattices and microstructures 93(2016):27-31. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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