Parylene 膜对半导体激光器性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 井红旗 ; 赵懿昊 ; 吴霞 ; 王鑫 ; 刘素平 ; 马骁宇 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 41期号:3页码:204-209 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2017-03-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27958]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子器件国家工程中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 井红旗,赵懿昊,吴霞,等. Parylene 膜对半导体激光器性能的影响[J]. 半导体技术,2016,41(3):204-209. |
| APA | 井红旗,赵懿昊,吴霞,王鑫,刘素平,&马骁宇.(2016).Parylene 膜对半导体激光器性能的影响.半导体技术,41(3),204-209. |
| MLA | 井红旗,et al."Parylene 膜对半导体激光器性能的影响".半导体技术 41.3(2016):204-209. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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