Kinetic-limited etching of magnesium doping nitrogen polar GaN in potassium hydroxide solution
文献类型：期刊论文
| 作者 | Junyan Jiang ; Yuantao Zhang ; Chen Chi ; Fan Yang ; Pengchong Li ; Degang Zhao ; Baolin Zhang ; Guotong Du |
| 刊名 | applied surface science
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| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 360页码:772-776 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2017-03-10 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27869]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Junyan Jiang,Yuantao Zhang,Chen Chi,et al. Kinetic-limited etching of magnesium doping nitrogen polar GaN in potassium hydroxide solution[J]. applied surface science,2016,360:772-776. |
| APA | Junyan Jiang.,Yuantao Zhang.,Chen Chi.,Fan Yang.,Pengchong Li.,...&Guotong Du.(2016).Kinetic-limited etching of magnesium doping nitrogen polar GaN in potassium hydroxide solution.applied surface science,360,772-776. |
| MLA | Junyan Jiang,et al."Kinetic-limited etching of magnesium doping nitrogen polar GaN in potassium hydroxide solution".applied surface science 360(2016):772-776. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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