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利用纳秒激光提高铜表面吸光率的研究

文献类型:期刊论文

作者任乃飞 ; 林康 ; 张志研 ; 梁浩 ; 高文焱 ; 王奕博 ; 林学春
刊名中国激光
出版日期2016
卷号43期号:3页码:58-65
学科主题半导体器件
收录类别SCI
公开日期2017-03-16
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28079]  
专题半导体研究所_全固态光源实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
任乃飞,林康,张志研,等. 利用纳秒激光提高铜表面吸光率的研究[J]. 中国激光,2016,43(3):58-65.
APA 任乃飞.,林康.,张志研.,梁浩.,高文焱.,...&林学春.(2016).利用纳秒激光提高铜表面吸光率的研究.中国激光,43(3),58-65.
MLA 任乃飞,et al."利用纳秒激光提高铜表面吸光率的研究".中国激光 43.3(2016):58-65.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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