Reconstruction of GaAs/AlAs supperlattice multilayer structure by quantification of AES and SIMS sputter depth profiles
文献类型：期刊论文
| 作者 | H.L. Kang ; J.B. Lao ; Z.P. Li ; W.Q. Yao ; C. Liu ; J.Y. Wang |
| 刊名 | applied surface science
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| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 388页码:584-588 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2017-03-10 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27756]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | H.L. Kang,J.B. Lao,Z.P. Li,et al. Reconstruction of GaAs/AlAs supperlattice multilayer structure by quantification of AES and SIMS sputter depth profiles[J]. applied surface science,2016,388:584-588. |
| APA | H.L. Kang,J.B. Lao,Z.P. Li,W.Q. Yao,C. Liu,&J.Y. Wang.(2016).Reconstruction of GaAs/AlAs supperlattice multilayer structure by quantification of AES and SIMS sputter depth profiles.applied surface science,388,584-588. |
| MLA | H.L. Kang,et al."Reconstruction of GaAs/AlAs supperlattice multilayer structure by quantification of AES and SIMS sputter depth profiles".applied surface science 388(2016):584-588. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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