MEMS 扫描振镜的磁场系统
文献类型：专利
| 作者 | 沈文江; 余晖俊 |
| 发表日期 | 2017-01-18 |
| 专利号 | CN104570332B |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 申请日期 | 2013-10-14 |
| 专利申请号 | 201310479059.9 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/4943]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米器件及相关材料研究部_沈文江团队 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈文江,余晖俊. MEMS 扫描振镜的磁场系统. CN104570332B. 2017-01-18. |
入库方式： OAI收割
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