Nano-accuracy measurement technology of optical-surface profiles
文献类型：会议论文
| 作者 | Qian, SN; Gao, B |
| 出版日期 | 2016 |
| 会议名称 | 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT) - Subnanometer Accuracy Measurement for Synchrotron Optics and X-Ray Optics |
| 会议日期 | APR 26-29, 2016 |
| 会议地点 | Suzhou, PEOPLES R CHINA |
| 关键词 | surface profiler profilometer nano-accuracy preccise measurement |
| 通讯作者 | Qian, SN (reprint author), Brookhaven Natl Lab, Upton, NY 11973 USA. |
| 收录类别 | SCI |
| 会议主办者 | Chinese Opt Soc, Chinese Acad Sci, Inst Opt & Elect, SPIE |
| 语种 | 英语 |
| ISSN号 | 0277-786X |
| ISBN号 | 978-1-62841-922-1 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/26393]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Qian, SN,Gao, B. Nano-accuracy measurement technology of optical-surface profiles[C]. 见:8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT) - Subnanometer Accuracy Measurement for Synchrotron Optics and X-Ray Optics. Suzhou, PEOPLES R CHINA. APR 26-29, 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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